用于挥发性气体检测的声表面波器件的环境特性研究 声表面波在气敏应用中具有快速、高灵敏、微型、轻 质的独特优势，因而在单兵防化、公共安全及工业流程监 控等领域极具应用前景。中国科学院声学研究所王文团 队与军事科学院防化研究院潘勇团队在长期声表面波气 敏机理与器件优化研究的基础上，为推进声表面波气敏 技术的实用化进程，持续开展了声表面波气敏器件及系 统环境适应性的研究。

相关成果相继发表在领域内知名国际期刊 Sensors and Actuators B (IF: 6.3)及RSC Advances (IF: 3.0)。 研究人员通过六氟异丙醇基聚硅氧烷 (Fluoroalcoholpolysiloxane, SXFA)和聚环氧氯丙烷(Polyepichlorohydrin, PECH) 的合成与薄膜制备方法及声表面波器件 优化研究，设计并研制出了针对含膦含硫毒害气体快速检测的高性能声表面波气敏器件，并对其环境适应性开 展了实验研究。

测试结果显示，传感器针对甲基磷酸二甲 酯(Dimethyl methyl phosphonate, DMMP)和二氯乙基 硫醚 (2-chloroethyl ethyl sulfide, CEES) 的检测下限可 达0.12 mg/m3 和1.5 mg/m3；它具有可靠的宽温高湿环 境适应能力；给大多数气敏技术带来困扰的烟雾并没有 对该传感器造成明显影响。

研究成果表明，声表面波气体传感技术可为复杂应 用环境中毒害气体快速、高灵敏的监测预警提供良好的 解决方案。