氧化铟锡 (ITO) 是一种非常重要的 n 型宽禁 带透明半导体材料，具有高可见光透过率和高电 导率 。ITO 在红外波段具有高反射率，雷达波段 具有高吸收率，是一种很好的同时实现红外和雷 达隐身的隐身吸收剂，在复合隐身方面具有巨大 的应用前景 。

ITO 的发射率、透过率等光谱特性参量与其组 分密切相关，在其生产和质量控制过程中需用标 准物质建立工作曲线和对仪器进行校准，以保证 ITO 的组分测试结果准确可靠。由于 ITO 是近年来 发展起来的一种新型隐身吸收剂材料，目前尚没有 检索到相关标准物质。

制备 ITO 粉体的方法主要有溶胶 – 凝胶法、水 热法、微乳法、喷雾热解法及化学沉淀法等。笔者 采用化学共沉淀法和溶胶凝胶法相结合的方式，制备 了 ITO 成分分析标准物质 ( 以下简称标准物质 )，该 标准物质以氧化铟锡为主体，以铁、铜、铅、锌、钙、镁 等金属作为掺杂组分，其颗粒蓬松，成分分布均匀。

1 实验部分

1.1 主要仪器与试剂

电感耦合等离子体发射光谱仪：6300 型，美国 赛默飞世尔科技公司； 恒温水浴锅：HH–WO–5 型，上海鑫培仪器设备 有限公司； 电动搅拌器：D2004W 型，上海梅颖浦仪器仪 表制造有限公司； 旋转蒸发器：RE–2000A 型，上海亚荣生化仪器 厂； 电热鼓风干燥箱：ZB101–1 型，山东淄博仪表 厂； 微波马弗炉：Phoenix 型，美国 CEM 公司； 高纯铟粉：纯度为 99.99%，中国医药集团 ( 上海 ) 化学试剂公司； 高纯锡粉：纯度为 99.999%，中国医药集团 ( 上 海 ) 化学试剂公司； 硝酸、盐酸、氨水：优级纯，天津科密欧化学试 剂有限公司； 聚乙烯吡咯烷酮 (PVP) ：优级纯，中国医药集 团 ( 上海 ) 化学试剂公司； 实验用水为高纯水。

1.2 标准物质制备

制备 3 种 ITO 粉体标准物质候选物，编号分别 为 1# ，2# ，3# ，其中锡、铁、铜、铅、锌、钙、镁的含量呈 梯度分布。锡的含量用依据化学式计算的二氧化锡 含量来表示，氧化锡的含量在 1%～10% 之间，6 种 掺杂元素含量在 0.05%～0.30% 之间。 预制 300 g ITO 粉体，按理论计算量准确称取 铟粉和锡粉，铟粉用硝酸溶解，锡粉用盐酸溶解，得 到铟和锡的酸溶液，把二者混合置于三口烧瓶中； 预先配制铁、铜、铅、锌、钙、镁 6 种掺杂元素的标准 溶液母液，按照理论计算每种掺杂元素的溶液质量， 准确称取后全部混合在铟和锡的酸溶液中；向混合 溶液中加入约 10%( 以 ITO 干粉的量计算 ) 的聚乙 烯吡咯烷酮作为分散剂，采用液相共沉淀和溶胶 – 凝胶相结合的方式，用氨水作沉淀剂，控制沉淀条 件，得到一种类凝胶的沉淀物。沉淀经过陈化、旋 蒸除水、烘干和煅烧等步骤，制得淡黄色蓬松的 ITO 标准物质候选物，制备工艺流程见图 1。