1 .一种六氟化硫标准物质研制方法，其特征在于，所述方法步骤如下：

S1：制备标准气体；

S2：检验标准气体中原料气的纯度；

S3：计算标准气体的浓度； S4：对标准气体进行性能检验。

2 .如权利要求1所述的六氟化硫标准物质研制方法，其特征在于，所述步骤S1中制备标 准气体的过程如下：

S11：对钢瓶进行抽真空清洗；

S12：称量钢瓶质量；

S13：充入原料气；

S14：称量钢瓶质量；

S15：充入平衡气；

S16：称量钢瓶质量。

3 .如权利要求1所述的六氟化硫标准物质研制方法，其特征在于，所述步骤S2中检验标 准气体中原料气的浓度具体过程如下：

其中：xpure表示为纯气中的主成分含量，xi表示为纯气中的i杂质组分含量；

主成分浓度的测量不确定度则如公式(2)

计算得到： 其中：u(xpure)表示为纯气纯度测量标准不确定度；

u(xi)表示为杂质组分测量标准不确 定度。

4 .如权利要求1所述的六氟化硫标准物质研制方法，其特征在于，所述步骤S2后还包括 有对标准气体的称量，称量包括有单盘电子天平的称量数学模型和双臂电子天平的称量数 学模型；

所述单盘电子天平的称量数学模型如下：

w＝e(Δmj-Δmj-1)+KΔPρair+δVρair+ΔL；

其中：w-------表示为加入气体的质量；

e--------表示为天平读数的线性系数；

Δmj-----表示为充气后样品钢瓶与参比钢瓶的质量差；

Δmj-1---表示为充气前样品钢瓶与参比钢瓶的质量差；

K------表示为钢瓶内部气体压力的增加而导致的钢瓶体积的膨胀系数；

ΔP-----表示为钢瓶内部气体压力的增加值；

ρair------表示为空气密度；

δV-----表示为温度变化造成的钢瓶体积的变化情况；

ΔL----表示为钢瓶在充气前后转移过程中产生的质量磨损；

2 所述双臂电子天平的称量数学模型如下：

其中：ρM-----表示为标准砝码的密度；

Mj------表示为充气后称量样品钢瓶时，加入的砝码质量；

Mj-1----表示为充气前称量样品钢瓶时，加入的砝码质量；

Δb------表示天平零点的变动性；

δVA----表示为温度变化造成的天平机械臂体积的变化情况。

5 .如权利要求1所述的六氟化硫标准物质研制方法，其特征在于，所述标准气体的浓度 计算公式如下：

其中j＝a ,b ,…,p代表加入的原料气； i＝1 ,2 ,…,n代表原料气中的各个组分；

mj为原料气j加入的质量； xi ,j为原料气j中组分i的摩尔分数； Mi为组分i的摩尔质量；

xk为产品气中各组分k的摩尔分数，为避免与原料气中组分的摩尔分数相混淆，此处用 脚标k表示，k＝1 ,2 ,…,n；

xk ,j为原料气j中组分k的摩尔分数；

浓度的不确定度计算公式为(4)：

根据公式(3)和(4)计算所配值的混合气的浓度和不确定度。

6 .如权利要求1所述的六氟化硫标准物质研制方法，其特征在于，所述步骤S4中对标准 气体进行性能检验的内容包括有稳定性，稳定性的检验过程如下： 对于线性拟合： 为测量结果的平均值； 为时间的平均值； 斜率：截矩： 回归残差： 斜率的标准偏差： 其中，自由度为n-2； 如果|b1|＜t0 .95 ,n-2×s(b1)，表示组分浓度对时间变量无明显趋势，样品稳定性良好；如 果|b1|≥t0 .95 ,n-2×s(b1)，表示组分浓度对时间变量有明显差异，样品稳定性不好；标准气 体长期稳定性的不确定度贡献通过ults＝s(b1)×t给出，其中t为时间。

7 .如权利要求1所述的六氟化硫标准物质研制方法，其特征在于，所述步骤S4中对标准 气体进行性能检验的内容包括有标准气体质量值的确定，确定过程如下： 称量方法引入的不确定度，以ugrav表示； 瓶内均匀性放压试验引入的不确定度，表示为uwb； 长期稳定性引入的不确定度，表示为ults； 最终定值的合成标准不确定度uc可以通过公式(9)获得： 扩展不确定度通过Ur＝kuc，k＝2，置信概率＝95％获得。

8 .如权利要求7所述的六氟化硫标准物质研制方法，其特征在于，还包括有标准气体物 质质量值的不确定度评价，评价过程如下： 对于六氟化硫中氟化氢工作校准气体定值的合成相对标准不确定度uc-r需考虑以下几 个方面的不确定度来源，即： ugrav-r－－－称量方法引入的相对不确定度； uPh-r－－－相对湿度校准的相对不确定度； ub-r－－－采样泵取样冲程的相对不确定度； ua-r－－－检测管观测值的相对不确定度； 最终定值的合成相对标准不确定度可以通过公式(10)获得： 其相对扩展不确定度通过Ur＝kuc-r，k＝2，置信概率＝95％获得。